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量程-0.5SCCM~0.5SCCM到-3000SLPM~3000SLPM,200:1量程比,內置98種氣體,100ms響應,優于1%精度
量程0-0.5SCCM到0-20SLPM,200:1的量程比,內置98種氣體,100ms響應時間,優于1%精度