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量程:0.5SCCM到500SLPM; 滿量程壓損最低可達0.06PSID,且不影響其它任何性能指標
量程0-0.5SCCM到0-500SLPM,200:1的量程比,內置98種氣體,100ms快速響應時間,優于1%的精度